최근, 스마트폰의 등장으로 전 세계는 인간생활의 모든 부분을 스마트화하는 기술에 관심이 집중되고 있다. 스마트자동차, 스마트홈, 스마트그리드 등과 같은 용어가 일반인들에게조차 이젠 낯설지 않다. 이처럼 인간을 대신해서 상황을 감지하고 판단하여 알아서 처리해주는 지능형 전자장비들을 쉽게 접할 수 있는 바탕에는 반도체공정기술을 활용하는 Micro/Nano Electro Mechanical Systems (MEMS/NEMS)기술이 비약적으로 발전하였기 때문이다. 우리말로 미세전자기계시스템이라 불리는 이 기술은 IT기술의 발전과 함께 21세기를 주도할 학문분야로 떠오르고 있으며, 이 분야의 끊임없는 연구개발을 통해 인간생활이 급속도로 편리해지고 있다.

MEMS/NEMS 기술은 초미세 기계 부품, 센서, 액추에이터, 전자 회로를 하나의 실리콘 기판 위에 집적화 하는 기술로 주로 반도체 집적회로 제작 기술을 이용해 제작되지만 집적회로제작에 사용되는 재료가 아닌 이종재료를 이용하거나 3차원 입체 형상을 만들어야 하는 등 기존의 표준 반도체 집적회로 공정기술과는 구분된다. 현재 제품으로 시판되고 있는 것으로서는 잉크젯 프린터의 헤드, 압력 센서, 가속도 센서, 자이로스코프, 프로젝터 등으로 응용 분야가 다방면에 걸쳐 있기 때문에 시장 규모가 급속도로 확대되고 있다. 

센서는 원래 인간의 오감을 대신해주는 소자로 만들어졌으나 지금은 인간의 오감보다 수만배 이상 더 정밀하고 감도높은 센서들이 출현하면서 생산공정의 정밀한 제어, 지능형자동차나 인간을 닮은 로봇의 출현을 가능하게 하고 있다. 현재 센서는 생산공정자동화, 환경감시, 자동차, 우주항공, 군수는 물론이고 우리 일상생활에까지 깊숙히 파고들고 있기 떄문에 그 요구에 따라 센서관련 수요 및 관련 기술이 급속히 중가하고 발전하고 있다.

본 연구실에서는 MEMS/NEMS기술을 기반으로 마이크로 또는 나노 스케일의 차세대 지능형 센서 및 액추에이터(Sensors & Actuators)에 대한 연구를 주로 진행하고 있다. 

주요연구테마 

• MEMS/NEMS 기반 센서 및 액추에이터

• 초소형 고감도 적외선 영상센서

• 초소형 적외선 스펙트로미터 기반 바이오센서

• 초소형 발전소자

• 촛점거리 가변형 초소형 렌즈

• 광학식 실시간 수질 모니터링 센서

• 증기 추진력 기반 초소형마이크로보트  

• Micro/Nano Total Analysis Systems